真空镀膜技术

    在真空中把金属、合金或化学物进行蒸发（或溅射），使其沉积在被涂覆的物体（称基片）上。

真空技术入门

真空：低于一个大气压的气体状态。

1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真空。

自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇宙空间。

人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。

n        真空量度单位

1标准大气压=760mmHg=760(Torr)

1标准大气压=1.013x105 Pa

1Torr=133.3Pa

n        真空区域的划分

目前尚无统一规定，常见的划分为：

粗真空 105-103pa(760-10Torr)

低真空 103-10-1pa(10-10-3Torr)

高真空 10-1-10-6pa(10-3-10-8Torr)

超高真空 10-6-10-10pa(10-8-10-12Torr)

极高真空 <10-10pa(<10-12Torr) 

n        真空获得---真空泵的分类

气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵，例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。

气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵，例如分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。